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    離子束刻蝕機（IBE）

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    離子束刻蝕機（IBE）

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    項目介紹

    通過離子束直接對材料進行轟擊刻蝕，或通過刻蝕將曝光形成的光刻膠圖形轉移至金屬、介質、半導體晶圓

    樣品要求

    1、適用于的樣品尺寸：最大適合晶圓尺寸8英寸

    2、離子源為考夫曼離子源

    3、極限真空：≤9.0×10-5 Pa

    4、刻蝕不均勻性: ≤±5%干燥固體樣品，樣品表面干凈，無油污

    項目案例

    離子束刻蝕機（IBE）

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