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    薄膜應力測試儀

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    薄膜應力測試儀

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    項目介紹

    激光曲率法，基于經典基片彎曲法Stoney公式測量原理，采用先進的激光掃描方式和探測技術，以及智能化的操作，使得FST5000薄膜應力儀特別適合于晶圓類光電薄膜樣品的弓高、輪廓形貌、曲率半徑和薄膜應力測量。

    樣品要求

    1、樣品尺寸最大8英寸，向下兼容6、 4、 3、 2、 1英寸，最小尺寸> 15*15 mm 樣品

    2、薄膜厚度目前沒有明顯要求（一般說的薄膜或者晶圓，厚度都是微米級~幾個mm以內）

    3、需要提供薄膜的大概厚度值，作為評估和測試的參考

    項目案例

    6英寸硅晶圓襯底弓高翹曲曲線

    6英寸硅晶圓襯底表面3D形貌

    TiN金屬薄膜表面3D形貌

    3D輪廓

    曲率/應力分布

    弓高/翹曲度

    薄膜應力測試儀

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