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    亞微米分辨紅外-拉曼-熒光聯(lián)用系統(tǒng)（O-PTIR）

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    亞微米分辨紅外-拉曼-熒光聯(lián)用系統(tǒng)（O-PTIR）

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    項(xiàng)目介紹

    亞微米分辨紅外-拉曼-熒光聯(lián)用系統(tǒng)是一種多模態(tài)顯微分析平臺(tái)，通過(guò)整合紅外光譜（IR）、拉曼光譜和熒光光譜技術(shù)，在亞微米尺度（<1 μm）實(shí)現(xiàn)樣品的化學(xué)、結(jié)構(gòu)和功能表征。其核心原理是利用近場(chǎng)光學(xué)技術(shù)（如s-SNOM或O-PTIR）突破紅外衍射極限，結(jié)合共聚焦拉曼顯微（~300 nm）和超分辨熒光成像（如STED/PALM，分辨率<50 nm），同步或交替獲取分子振動(dòng)信息（IR/Raman）與特定分子分布（熒光）。系統(tǒng)通過(guò)共享光學(xué)路徑、時(shí)序分離激發(fā)和光譜濾波解決信號(hào)串?dāng)_，最終將多模態(tài)數(shù)據(jù)空間配準(zhǔn)，提供官能團(tuán)分布、分子結(jié)構(gòu)及生物標(biāo)記物的共定位分析，廣泛應(yīng)用于材料、生物及納米科技領(lǐng)域。

    樣品要求

    1、常規(guī)樣品要求：待測(cè)無(wú)特征尺寸＞500nm，厚度＞500nm，無(wú)毒，無(wú)有機(jī)揮發(fā)物質(zhì)

    2、樣品表面平整度要求：?jiǎn)吸c(diǎn)采譜對(duì)平整度無(wú)要求，單波數(shù)成像一般小于5μm最佳；

    3、目前拉曼激發(fā)波長(zhǎng)可選532nm或者785nm

    其他具體要求可具體溝通

    項(xiàng)目案例

    半導(dǎo)體失效以及污染測(cè)試實(shí)例

    O-PTIR檢測(cè)玻璃基板（TGV型）上的粘合劑殘留

    微電子器件截面污染物

    底部填充料污染分析

    亞微米分辨紅外-拉曼-熒光聯(lián)用系統(tǒng)（O-PTIR）

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