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    FIB-TEM樣品制備技術

    FIB-TEM樣品制備技術

    • 課程介紹
    • 講師介紹

    課程大綱：

    1.樣品前處理

    根據樣品導電性好壞確定是否需要噴金或噴鉑處理

    2.樣品定位

    通過E-Beam確定樣品的目標位置

    3.蒸鍍保護層

    根據樣品成分選擇合適的材料在樣品的目標區域蒸鍍保護層

    4.U-Cut

    將樣品的目標區域四周刨掉，只留下U型目標區域

    5.提取樣品

    將U-Cut后的樣品通過Easylift提取到載具上

    6.樣品減薄

    根據具體測試需求對樣品進行減薄

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