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    【科研干貨】背散射電子衍射裝置(EBSD)——應用實例
    來源：測試狗 時間：2020-05-02 16:28:25 瀏覽：15400次

    本文由測試狗原創

    背散射電子衍射裝置(EBSD)：是掃描電子顯微鏡(SEM)的附件之一，它能提供如晶間取向、晶界類型、再結晶晶粒、微織構、相辨別和晶粒尺寸測量等完整的分析數據。EBSD數據來自樣品表面下10-50nm厚的區域，且EBSD樣品檢測時需要傾轉70°，為避免表面高處區域遮擋低處的信號，所以要求EBSD樣品表面“新鮮”、清潔、平整、良好的導電性、無應力等要求。

    EBSD的具體分析功能:一種物相鑒定的新方法；標準的微區織構分析方法；具有大樣品區域統計的特點；與能譜結合，可集成分析顯微形貌、成分和取向。

    應用實例

    (1)物相鑒定和區分：

    圖1：高溫鋼含有第二相粒子，需要準確的識別物相：未知粒子的二次電子像，EBSD花樣和EDS用于物相鑒定，根據EBSD花樣和其解確定顆粒為具有六方結構的AI


    從圖1所示的同一區域收集的EBSD面分布數據：（a）EBSD相分布圖，顯示所有相都準確的識別，紅色顯示基體為鐵素體，藍色為Cr15.8Fe7.42C6,黃色為AIN；（b）為基體鐵素體EBSD花樣；（c）標定為Cr15.8Fe7.42C6的EBSD花樣；（d）標定為AlN顆粒的EBSD花樣

    (2)表征晶粒尺寸和晶界：

    單相鋼樣品的EBSD數據：隨機顏色顯示晶粒分布圖，10°作為臨界晶界角度，晶粒內不少于100個像素點，統計共1378個晶粒，平均晶粒尺寸在25.μm。


    噴丸處理的鋁合金截面的晶粒取向散布圖（GOS）：（a）GOS面分布圖；（b）對應的取向差角度分布直方圖


    利用EBSD技術測定了鋼樣品中的晶界：樣品中包含鐵素體相（白色）和奧氏體相（紅色）；2°-10°的小角度晶界用綠色表示；高于10°的大角晶界用黑色表示，顯示了鐵素體中單個晶粒結構和亞結構。

    利用EBSD技術測鋼樣品的CSL晶界數據：a）樣品的花樣質量襯度圖；b）重合位置點陣（CSL）晶界與花樣質量襯度疊加圖

    （3）織構分析：

    鉛黃銅樣品包含三個相，鉛（紅色）、黃銅（黃色）和β黃銅（藍色），所有相的IPF-Z分布圖顯示，β黃銅大多呈現綠色，說明β黃銅具有擇優取向，即其110方向近似平行于樣品的Z軸方向。


    β黃銅的織構圖，顏色標尺顯示了數據取向與平行于Z方向的理想取向之間的偏差



    Β黃銅相的極圖，數據的密集分布說明具有很強的平行于Z軸的絲織構


    （4）三維EBSD：

    銅樣品的3D EBSD分析：（a）重建和處理過的三維取向圖；（b）在X、Y和Z平面的截面；（c）突出顯示選取的晶粒

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    12條評論
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    全部 3小時前 四川
    文字是人類用符號記錄表達信息以傳之久遠的方式和工具。現代文字大多是記錄語言的工具。人類往往先有口頭的語言后產生書面文字，很多小語種，有語言但沒有文字。文字的不同體現了國家和民族的書面表達的方式和思維不同。文字使人類進入有歷史記錄的文明社會。
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