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    電子探針顯微分析(EPMA)的基本原理與應用
    來源:本站 時間:2020-08-24 17:48:47 瀏覽:17327次

    電子探針顯微分析(EPMA)的基本原理與應用

    作者:安銘

    1 引言

    電子探針X射線顯微分析儀(Electron Probe X-ray Micro-Analyzer,簡寫為EPMA或者EMA)簡稱為電子探針。作為一種在電子光學和X射線光譜學原理的基礎上發展而來的高效率分析儀器,其通過電子束作用于試樣微區上而產生的二次電子、背散射電子及X射線等信號,進行固體物質顯微分析,包括微區成分、形貌和結構分析。不同于一般用于分析樣品較大范圍內的平均化學組成的方法(如化學分析、X光熒光分析以及光譜分析),電子探針的微區成分分析能將微區化學成分和顯微組織對應起來,因此是一種顯微組織的分析。

    2 電子探針的發展歷史

    電子探針顯微分析的發展是建立在X射線光譜分析和電子顯微鏡這兩種技術基礎上的,該儀器實質上就是這兩種儀器的科學組合。

    根據相關記載,第一臺靜止型電子探針樣機于1949年在法國制成,其由電子顯微鏡和X射線光譜儀組合而成。

    1953年,前蘇聯制成了X射線微區分析儀,英、美等國繼此之后陸續生產。

    第一臺掃描電子探針儀商品于1960年由美國制成,不僅能對試樣作點或微區分析,而且能對樣品表面微區進行掃描。

    1970年以后,電子探針和掃描電鏡逐漸組合為一體,同時應用電子計算機控制分析過程和進行數據處理。

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    評論 / 文明上網理性發言
    12條評論
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    全部 3小時前 四川
    文字是人類用符號記錄表達信息以傳之久遠的方式和工具。現代文字大多是記錄語言的工具。人類往往先有口頭的語言后產生書面文字,很多小語種,有語言但沒有文字。文字的不同體現了國家和民族的書面表達的方式和思維不同。文字使人類進入有歷史記錄的文明社會。
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