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    微波光電導衰減壽命測試儀

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    微波光電導衰減壽命測試儀

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    項目介紹

    mPCD用來測試硅片的有效少子壽命; cPCD用來測試樣品的體少子壽命。

    微波光電導衰退法Microwave photoconductivity decay)測試少子壽命，主要包括激光注入產生電子-空穴對和微波探測信號的變化這兩個過程。

    904mm 的激光注入(對于硅，注入深度大約為30um )產生電子-空穴對，導致樣品電導率的增加，當撤去外界光注入時，電導率隨時間指數衰減，

    這一趨勢間接反映少數載流子的衰減趨勢，從而通過微波探測電導率隨時間變化的趨勢就可以得到少數載流子的壽命。



    樣品要求

    （1）mPCD所能測試的樣品，從 8英寸到一般切割的小樣品(1cm×1cm）都可以。一般機械拋光，化學拋光或研磨面的樣品都可以測試，但樣品必須是輕摻，重摻（電阻率小于0.1Ωcm）和重摻襯底的外延片都不行。

    （2）CPCD所能測試的樣品限于3，4，6，8英寸。一般硅片表面要形成自然氧化層或生長一層帶電荷的薄膜。

    項目案例
    常見問題
    1、測試周期？

    一般到樣3-5個工作日

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